超級黃金膜（黃光室專用）

       超級黃金膜為黃光室進行IC晶片微影成像術的區(qū)域，將光阻材料利用旋鍍法被覆在晶圓上，而后再放置于曝光機下進行曝光，以使紫外線光源透過光罩照射于光阻而得到感光

圖像，最后再以藥劑進行顯影而得到實際圖像。早期曝光機的光源為全光譜光源，后演進到G-LINE（436nm）光源，目前最為廣泛使用的為I-LINE（365nm）光源，對于0.3ūm

線寬以下的IC制程，則需采用深紫外線（deep UV）248nm光源，甚至X光或電子束，目前光源較采用高壓水銀（汞）弧燈，由于其特性頻譜，所以須經過濾光片以獲得所需的I－

LINE(365mm)光線。為了避免光阻在曝光前、曝光后受到曝光機以外的光線照射而曝光，所以整個作業(yè)必須在黃光室下進行，換言之，所有照明用的光源須加以過濾，照明燈底

罩及各式隔間門及窗皆應具有過濾波長380nm紫外光的能力。但必須注意的一點，有些黃色透明板雖然具有黃光，但對于紫外光卻未完全隔絕，嚴格來說，這是不合格的產品。

因為常被用于黃光室的5mm 黃色壓克力板，在I－LINE（365nm）附近確有不少的穿透率。期間提供最佳紫外線（UV ）阻斷效果，特別適宜于集成電路制造廠商黃光區(qū)的照明。

獨特的防護袖套確保燈管的光色不變。這種黃金膜比普通黃光膜的紫外線阻斷能力更強，而且隔斷關鍵的G，H和I光譜線，保證在燈管全壽命期間阻隔UV 紫外線。CovRguard 

Gold.可以完全過濾下列紫外波段：UV-C（200-280nm）UV-B（280-315nm）同時可以幾乎過濾UV-A（315nm-400nm ）以及一部分可見光，極限光譜為500nm 。